【真空泵厂家】真空系统常用名称

真空系统常用名称

①主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。

②前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。

③粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。

性能参数编辑

参数名称 参数定义

真空泵的极限压强 泵的极限压强单位是Pa，是指泵 在入口处装有标准试验罩 并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的低压强。

真空泵的抽气速率 泵的抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有标准试 验罩，并按规定条件工作时，从试验罩 流过的气体流量与在试验罩*位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。

真空泵的抽气量 真空泵的抽气量 单位是Pam3/s或Pal/s。是指 泵入口的气体流量。

真空泵的起动压强 真空泵的起动压强单位为Pa，它是指泵无损坏起动并有抽气作用 时的压强。

真空泵的前级压强 真空泵的前级压强 单位是Pa，它是指排气压强 低于一个大气压的真空泵的出口压强。

真空泵的大前级压强 真空泵口大前级压强单位是Pa，它是指**过了 能使泵损坏 的前级压强。

真空泵的*作压强 真空泵的*作压强单位是Pa，它是指对应大抽气量 的入口压强。在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。

真空泵的压缩比 压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。

真空泵的何氏系数 泵抽气通道面积上的实际抽速 与该处按分子泻流计算的理论抽速 之比。

真空泵的抽速系数 泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。

真空泵的返流率 泵的返流率 单位是g/cm2.s。它是指 泵按规定条件工作时，通过泵入口单位面积的泵流质量流率。

水蒸气允许量 水蒸气 的允许量单位是kg/h，它是指泵在正常环境条件下，气镇泵 在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。

大允许水蒸气入口压强 大允许水蒸气入口压强 单位是Pa。它是指 在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的高入口压强。